SiR2SiN
Entwicklung von hochwärmeleitfähigen Siliciumnitridkeramiken aus Silicium-Recyclaten für die Anwendung in der Leistungselektronik und in Halbleiterherstellungsprozessen
Entwicklung von hochwärmeleitfähigen Siliciumnitridkeramiken aus Silicium-Recyclaten für die Anwendung in der Leistungselektronik und in Halbleiterherstellungsprozessen